對于真空鍍膜機(jī)必須要掌握的名詞

低溫冷凝泵：它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是目前獲得極限真空1高，抽速1大的抽氣泵。

冷凝泵的工作原理：主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。

低溫冷凝：根據(jù)各種氣體的特性，采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。

冷捕集：就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象，通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜，于低溫表面形成吸附層，進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的，低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。

低溫吸附：指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用，由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強，故可達(dá)到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。

冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系，經(jīng)數(shù)據(jù)顯示，單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；從膜系附著方式可以分為直接鍍膜式、間接鍍膜式或間接鍍膜剪貼式。此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝，對抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。

真空計：真空計是真空鍍膜機(jī)器上的重要組成部分，它是檢測鍍膜機(jī)真空度的重要手段。

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真空鍍膜機(jī)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)

高真空鍍膜機(jī)，鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件：機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng).

一、真空主體——真空腔

根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。

二、輔助抽氣系統(tǒng)

此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成

排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴(kuò)散泵三大部分組成。

機(jī)械泵：也叫前級泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式（此主要應(yīng)用于大型設(shè)備）、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式（此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹）四種類型。

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真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域

1.在裝飾品方面

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高，人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。

2.在刀具、模具等金屬切削加工工具方面

在生活中，我們會看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等，這些就是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。

（1）金黃色的，是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層，TiN是代應(yīng)用廣泛的硬質(zhì)層材料。

（2）黑色的，是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。

（3）鈷銅色的，是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。

3.在建筑玻璃和汽車玻璃上

建筑玻璃有透光和隔熱兩個基本功能。

普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量，這對采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對于空間紅外輻射，普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過室外，但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會造成很大的損失。

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求，而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補了普通玻璃在這一方面的不足。陽光控制膜可以滿足低緯度地區(qū)降低室內(nèi)溫度的要求；擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學(xué)特性要好。而低輻射膜則能滿足高緯度地區(qū)充分接受太陽輻射能量和1大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。

在玻璃上，鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃，這種工藝在汽車玻璃上有很好的應(yīng)用。

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真空鍍膜設(shè)備的日常維護(hù)

真空鍍膜設(shè)備的運行狀況直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)進(jìn)程等，為了使設(shè)備的運行狀況良好，必須建立和完善設(shè)備的維護(hù)與維修制度、維護(hù)內(nèi)容、維修標(biāo)準(zhǔn)等。

設(shè)備的維護(hù)要有日常維護(hù)和定期維護(hù)

1,日常維護(hù)就是在當(dāng)天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象，就馬上解決。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油少了就要添加，不要認(rèn)為這油是定期更換的，等到了時間再維護(hù)，到時候可能泵的轉(zhuǎn)子就會磨損嚴(yán)重了。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉(zhuǎn)架電機(jī)燒毀等現(xiàn)象。而低輻射膜則能滿足高緯度地區(qū)充分接受太陽輻射能量和1大限度阻止室內(nèi)熱量外流的要求。

2定期維護(hù)，有人會問有了日常維護(hù)還有必要定期維護(hù)嗎?第六，還要防止漏孔阻塞，有時因為操作失誤，檢漏過程中，一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了，以為在該方位沒有漏孔，但當(dāng)這些阻塞物因為內(nèi)外壓強區(qū)別進(jìn)步或別的緣由使漏孔不堵了，那漏氣仍是存在的。其實每一種設(shè)備都有自己的使用壽命，比如擴(kuò)散泵用的的硅油，使用壽命為兩年左右，我就規(guī)定1年半把它換掉，這樣作是不是浪費，我覺得不浪費，從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的，老板不希望看到的是機(jī)器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。只要你把日常維護(hù)和定期維護(hù)做好了，在延長設(shè)備壽命的同時，生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。生產(chǎn)效率也提高了。

3,設(shè)備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細(xì)心”，每一個人都力求做到“我辦事，你放心”，也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來控制的，每個抽氣口都要同時開動并力度一致，這樣就可以控制好抽氣的均勻性，如果抽氣不均勻，在真空室內(nèi)的壓強就不能均勻了，壓強對離子的運動是存在一定的影響的。做好這一點可少走好多彎路，其次是要善于分析現(xiàn)象，不能盲目的拆卸。說到這里，很多人都遇到過真空方面的漏氣問題，真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩，再加上我們公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。

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